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Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene 64 The rst JELIA meeting wasBachelorarbeit aus dem Jahr 2011 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 1, Hochschule Mittweida (FH) (Elektro und Informationstechnik), Sprache: Deutsch, Abstract: Diese Bachelorarbeit soll die Grundlage fr hochbeschleunigte Zuverlssigkeitstests auf Waferebene unter Verwendung von In Situ Heizelementen aus polykristallinem Silizium bilden. Nach einer Einfhrung in die Zuverlssigkeitstheorie wird eine Auswahl an Zuverlssigkeitstest vorgestellt. Diese sind